RCL 系列 3 kW 多坩堝線性噴槍™
蒸發(fā)源
系列:RCL
Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝線性電子槍提供增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描,具有完整的坩堝覆蓋,并可通過自動分度器進(jìn)行自動定位,單獨出售。
蒸發(fā)源
系列:RCL
3 kW 多坩堝線性噴槍™
Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝線性電子槍提供增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描,具有完整的坩堝覆蓋,并可通過自動分度器進(jìn)行自動定位,單獨出售。
特征
真正的 XY 清掃,坩堝覆蓋
源附帶的掃頻線圈
增強(qiáng)的光束準(zhǔn)直
插件發(fā)射器模塊
增強(qiáng)的高穩(wěn)定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅固的設(shè)計
可選的自動索引器
規(guī)格
工作壓力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇 |
光束電壓 | 4,000 伏直流電 |
束流 | 0–750 mA 連續(xù)可變 |
最大功率 | 3 千瓦 |
冷卻水 | 1.5 加侖/分鐘 |
壓差 | 最小 25 psi |
最大烘烤 溫度 | 230°C (446°F) |
坩堝體積 | 2.24 cc x 3、4 或 5 個坩堝 |
Thermionics3kW多坩堝線性電子槍 真空組件
描述 | 型號 |
---|---|
多個坩堝 3 kW e-Gun 源,帶掃掠線圈,線性 3 位 | RCL0303 |
多個坩堝 3 kW e-Gun 源,帶掃掠線圈,線性 4 位 | RCL0304 |
多個坩堝 3 kW e-Gun 源,帶掃掠線圈,線性 5 位 |